工业装置中的动态反向脉冲：SiO2沉积案例分析 实践才是真正的检验标准——这就是AE位于德国美因河畔卡尔斯泰因客户解决方案实验室的做法。在生产装置上第一手测试验证AE创新的设想，能够帮助我们更好地满足客户的需求。凭借新型供电技术，Advanced Energy紧跟当今磁控溅射需求的步伐，其中包括：快速增加的旋转圆柱形靶的使用和日益增长的敏感基片对热负荷控制的需求。 可以理解，任何可能替代现有有效工艺的创新总是面临各种质疑。几年前，AE引入动态反向脉冲（DRP）模式，作为双磁控管工艺传统双极（B